瑞士VAT閥04.2 高真空傳輸閥與L-VAT

在腐蝕性工藝環(huán)境下提供可靠隔離采用 L-VAT 技術(shù)的 04.2 傳輸閥特別適合腐蝕性工藝，如蝕刻或 CVD。L-VAT 技術(shù)通過單軸氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器提供閥板的 J 型運(yùn)動(dòng)。在 J 型運(yùn)動(dòng)中，閥板在不接觸閥體的情況下垂直移動(dòng)到關(guān)閉位置，在最后的運(yùn)動(dòng)中被水平推到閥座上（密封件以固定力接觸閥座，該固定力與所連接的空氣壓力相關(guān)）。     

為大程度地減少粒子的產(chǎn)生和生成，閥板配備了硫化密封件。盡管標(biāo)準(zhǔn) O 型密封圈可作為一種選擇，但這是一種比標(biāo)準(zhǔn) O 型密封圈更可靠、更耐用的密封解決方案。軸饋通件由高度耐用的金屬焊接波紋管密封。

斷電時(shí)，04.2 系列可通過選配的止回閥氣動(dòng)鎖定在關(guān)閉和打開位置。

04.2 高真空傳輸閥與L-VAT設(shè)計(jì)用于延長免維護(hù)運(yùn)行（在維護(hù)前開關(guān)次數(shù) ≤ 300 萬）。

04.2 系列已經(jīng)安裝在數(shù)百個(gè)各種半導(dǎo)體生產(chǎn)流程的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其的可靠性。04.2 系列具有堅(jiān)固的設(shè)計(jì)，減少了維護(hù)量，使維護(hù)更方便，在各個(gè)方面都令人信服。